公开/公告号CN1365027A
专利类型发明专利
公开/公告日2002-08-21
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;
申请/专利号CN01120961.5
申请日2001-06-21
分类号G03F7/20;
代理机构22001 长春科宇专利代理有限责任公司;
代理人梁爱荣
地址 130022 吉林省长春市人民大街140号
入库时间 2023-12-17 14:23:40
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2007-08-29
专利权的终止未缴年费专利权终止
专利权的终止未缴年费专利权终止
2004-10-06
授权
授权
2002-10-16
实质审查的生效
实质审查的生效
2002-08-21
公开
公开
机译: 用于极紫外光刻的投射曝光系统的光学系统的照明光学器件中使用的光学组件,具有用于从照明光束路径输出极紫外光的输出镜
机译: 极紫外光的辐射方法和利用极紫外光的敏感基质的曝光方法
机译: 利用多重曝光系统中的可复位或可逆对比度增强层的光刻设备和装置制造方法