半导体装置制造中瑕疵聚集的检索方法及装置和所用程序

摘要

一种半导体装置制造中的瑕疵聚集的检索方法,该方法包括:输入检索母体内存在的关于不完全实体的数据,计算每个分割检索母体的各单位单元的不完全实体的频率分布,对于频率分布,拟合两种以上的离散型分布函数,根据对频率分布的离散型分布函数的加权,检索聚集。发现制造过程或设计的异常后,可方便地进行改善半导体装置的生产率所用的定量聚集检索。