投影光刻成像相移滤波装置

摘要

本发明是一种投影光刻成像相移滤波装置,由照明光源、聚光镜组、成像物镜及硅片等构成,其特征是在投影光刻物镜的光瞳面位置,放置对成像光可进行相移滤波的完全透光相移滤波板,既保证成像光不受阻挡,又能提高像对比度,进一步挖掘短波长大数值孔径投影成像系统的光刻分辨力能力,较大地提高投影成像光刻分辨力和大幅度增大焦深。