EUV lithography; lithography simulation; computational lithography; EUV masks; phase shift masks;
机译:使用现有光掩模制造能力制造用于EUV光刻的自对准交替相移光掩模的简单方法
机译:使用现有的照片掩模制造能力制造用于EUV照片光刻的自对准交替相移照片掩模的简单方法
机译:用于高级光学和EUV光刻的掩模衍射和投影成像建模
机译:用于EUV投影光刻的二元和相移掩模的成像特征
机译:用于相移掩模设计的广义逆光刻方法。
机译:基于双算子的模式转移路径规划和数字掩模投影光刻的双群蚁群算法
机译:EUV浮雕成像工具euvl嵌入式相移掩模性能的空中图像评估