公开/公告号CN1329765A
专利类型发明专利
公开/公告日2002-01-02
原文格式PDF
申请/专利权人 汤姆森多媒体公司;
申请/专利号CN99814097.X
申请日1999-11-30
分类号H01Q15/08;H01Q15/02;
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人姜丽楼
地址 法国布洛里
入库时间 2023-12-17 14:10:59
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-01-29
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01Q15/08 授权公告日:20040512 终止日期:20121130 申请日:19991130
专利权的终止
2004-05-12
授权
授权
2002-01-02
实质审查的生效
实质审查的生效
2002-01-02
公开
公开
机译: X射线折射装置提供了折射X射线透镜,一种制造透镜的方法,包括透镜在内的二维X射线聚焦X射线系统,包括使用透镜的二维X射线聚焦箱。镜头方式
机译: 透镜的制造方法及装置,由该方法制造的透镜以及由该透镜构成的透镜单元
机译: 使用多轴电子透镜的多束曝光设备,用于聚焦多个电子束的多轴电子透镜以及半导体器件的制造方法