焦点制御型回折レンズの作製と焦点距離と焦点深度の制御

摘要

レーザー光を様々な分野へ応用するために周期構造によって焦点距離と焦点深度を制御できる焦点制御型回折レンズの設計を行い，電子線リソグラフィ技術を用いて焦点制御型回折レンズの作製を行った．作製したレンズの強度分布の評価を行ったところ，構造を変えることでピークの位置と半値幅の変化が観測された．この結果から周期構造を変化させることで焦点距離と焦点深度の制御ができることを明らかにした．