公开/公告号CN1282801A
专利类型发明专利
公开/公告日2001-02-07
原文格式PDF
申请/专利权人 李铁真;株式会社日进纳米技术;
申请/专利号CN00121138.2
申请日2000-07-27
分类号C23C16/26;C01B31/00;
代理机构永新专利商标代理有限公司;
代理人甘玲
地址 韩国全罗北道
入库时间 2023-12-17 13:50:20
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2003-11-26
发明专利申请公布后的视为撤回
发明专利申请公布后的视为撤回
2001-02-07
公开
公开
2001-01-10
实质审查请求的生效
实质审查请求的生效
机译: 等离子体化学汽相淀积装置及采用该装置的化学汽相淀积方法及装置内部的清洗方法
机译: 用于电化学汽相淀积的原始材料汽化器,电化学汽相淀积装置和使用该装置的固态电解膜形成方法
机译: 化学汽相沉积设备,化学汽相沉积设备的指南成员以及使用化学汽相沉积设备的化学汽相沉积方法