公开/公告号CN1270672A
专利类型发明专利
公开/公告日2000-10-18
原文格式PDF
申请/专利权人 泰拉丁公司;
申请/专利号CN98809199.2
发明设计人 丹尼尔C·普罗斯考尔;
申请日1998-08-03
分类号G01R31/319;
代理机构11219 中原信达知识产权代理有限责任公司;
代理人李辉;谷慧敏
地址 美国马萨诸塞州波士顿
入库时间 2023-12-17 13:46:10
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-08-28
专利权有效期届满 IPC(主分类):G01R31/319 授权公告日:20050309 申请日:19980803
专利权的终止
2005-03-09
授权
授权
2000-10-25
实质审查请求的生效
实质审查请求的生效
2000-10-18
公开
公开
机译: 在集成电路之间的切缝区域中提供一种测试系统的测试系统,该测试系统以晶片形式集成在基板上,并且该测试系统用于测量和/或测试系统中测试结构的参数
机译: 用于评估集成电路的测试系统,测试系统以及用于测试集成电路的方法
机译: 用于评估集成电路的测试系统,测试系统以及用于测试集成电路的方法