防止因工艺条件规范改变使半导体制造工艺失效的方法

摘要

一种防止因工艺条件规范改变而引起的半导体制造工艺失效的方法,该方法包括以下步骤:如果特定工艺变量的实时工艺条件改变,那么半导体制造设备向主计算机报告已改变的工艺条件规范;然后主计算机判定该改变的工艺变量的实时工艺数据是否包括在规定数据内;如果改变的工艺变量的实时工艺数据不包括在规定数据内,那么将互锁有关的半导体制造设备,从而防止半导体工艺中的失效。