在用于集成电路的金属堆栈中钛和铝合金之间的改进界面

摘要

在集成电路中用作互连结构的金属堆栈中的一种改进。该改进包括在钛层和诸如铝铜合金的体导电层接触的界面捕获在钛层中的氮。捕获氮阻止了铝化钛的大量形成,从而降低了电流密度,还改善了堆栈的电迁移特性。现行优选的是,氮被捕获在钛层的最初大约30A中。