公开/公告号CN1212734A
专利类型发明专利
公开/公告日1999-03-31
原文格式PDF
申请/专利权人 塞姆特里克斯公司;松下电器工业株式会社;
申请/专利号CN97192815.0
申请日1997-03-04
分类号C23C26/02;C23C18/14;
代理机构永新专利商标代理有限公司;
代理人于辉
地址 美国科罗拉多州
入库时间 2023-12-17 13:17:14
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2004-10-06
发明专利申请公布后的视为撤回
发明专利申请公布后的视为撤回
1999-06-09
实质审查请求的生效
实质审查请求的生效
1999-03-31
公开
公开
机译: 在改进的雾和雾流上进行雾的前体沉积的装置和方法
机译: 具有改善的雾和雾流的雾化前驱物沉积设备和方法
机译: 具有改善的雾和雾流的雾化前驱物沉积设备和方法