具有0.01纳米分辨率的原子光栅测量方法

摘要

本发明涉及超精密测量技术。所述测量方法包括首先利用扫描探针显微镜获得样品的原子品格图象,将其存入计算机中,然后将该图象转动Φ角度,得到新的图像后将两图象叠加成为具有莫尔条纹的原子光栅图像,再以同样方法获得不同位置或适当时间隔后的第二幅原子晶格图像,也将其与旋转后的原子晶格图像相叠加,最后比较两个原子光栅图像的变化,即为测量结果。本测量方法将传统的计量光栅原理与扫描探针显微技术相结合,实现了亚原子分辨率的测量并使测量系统大为简化。