用水为溶剂的前驱物溶液制备钛酸锶钡薄膜的方法

摘要

本发明涉及的是以水为溶剂的前驱物溶液制备钛酸锶钡薄膜的方法,属于制备钛酸盐薄膜的领域。前驱物溶液以甲酸钡、甲酸锶、钛酸丁酯和柠檬酸为原料,Ba∶Sr∶Ti=X∶1-X∶1(克分子比,0.01≤X≤0.99),通过成膜-预热处理-再成膜反复多次方法制备钛酸锶钡薄膜.用Spin方法成膜,前驱物溶液温度维持在35—50℃,衬底加热至60—80℃,预处理温度为110—140℃/10min,预烧去碳温度为400—450℃/15min,最后经650℃～700℃/30min退火处理即成具有一定电性能的钛酸锶钡薄膜。