用水为溶剂的前驱物溶液制备钛酸锶钡薄膜的方法

摘要

本发明涉及的是以水为溶剂的前驱物溶液制备钛酸锶钡薄膜的方法，属于制备钛酸盐薄膜的领域。前驱物溶液以甲酸钡、甲酸锶、钛酸丁酯和柠檬酸为原料，Ba∶Si∶Ti＝X∶1-X∶1(克分子比，0.01≤X≤0.99)，通过成膜—预热处理—再成膜反复多次方法制备钛酸锶钡薄膜，用旋涂法成膜，前驱物溶液温度维持在35-50℃，衬底加热至60-80℃，预处理温度为110-140℃/10分钟，预烧去碳温度为400-450℃/15分钟，最后经650～700℃/30分钟退火处理即成具有一定电性能的钛酸锶钡薄膜。