用劳埃德镜写光敏光栅的方法

摘要

在波导中形成折射率光栅的设备包括一根波导,当曝光时其构造材料会改变其折射率;相干光辐射的光源,用于形成辐射光束;反射镜,用于截取光束的第一部分,并反射第一部分;相位延迟板,用于截取光束的第二部分,使通过该板传播的第二部分延迟。其中反射镜和相位延迟板的布置使得经反射的光束第一部分和经延迟的光束第二部分在波导上形成一干涉图案,以在用以形成折射率光栅的对应干涉图案中改变波导折射率。