首页> 中国专利> 两个操作室之间带可移动隔板的湿法处理装置

两个操作室之间带可移动隔板的湿法处理装置

摘要

一种湿法处理装置包括使用第一种化学试剂进行第一种工艺的第一操作室(1)和使用第二种化学试剂进行第二种工艺的第二操作室(2),位于第一和第二操作室之间用于接收纯水的分离池(3’)。以及,可移动隔板(4’)设置在第一和第二操作室之间,将第一操作室与第二操作室隔离开,可移动隔板的下端浸在所述分离池的纯水的液面下。

著录项

  • 公开/公告号CN1178390A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日1998-04-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 日本电气株式会社;

    申请/专利号CN97116948.9

  • 发明设计人 山崎进也;

    申请日1997-09-30

  • 分类号H01L21/306;H01L21/304;

  • 代理机构11219 中原信达知识产权代理有限责任公司;

  • 代理人穆德骏

  • 地址 日本东京都

  • 入库时间 2023-12-17 13:04:52

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2011-01-05

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L21/306 授权公告日:20021211 终止日期:20091030 申请日:19970930

    专利权的终止

  • 2003-06-04

    专利申请权、专利权的转移专利权的转移 变更前: 变更后: 登记生效日:20030411 申请日:19970930

    专利申请权、专利权的转移专利权的转移

  • 2002-12-11

    授权

    授权

  • 1998-04-08

    公开

    公开

  • 1998-03-04

    实质审查请求的生效

    实质审查请求的生效

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