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使用混合电极的多晶铁电电容器异质结构

摘要

本发明披露了显示极佳抗疲劳和印记的铁电电容器异质结构,包括高导电性铂(14)与结晶金属氧化物(15)的混合电极和无需插入结晶定向模板的淀积于Si-CMOS-相容的衬底(11)上的铁电材料(16)。

著录项

  • 公开/公告号CN1164295A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日1997-11-05

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 贝尔通讯研究股份有限公司;

    申请/专利号CN95196323.6

  • 发明设计人 R·雷米西;

    申请日1995-11-03

  • 分类号H01L29/76;H01L31/062;

  • 代理机构上海专利商标事务所;

  • 代理人白益华

  • 地址 美国新泽西

  • 入库时间 2023-12-17 12:56:30

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2003-02-26

    专利权的视为放弃

    专利权的视为放弃

  • 1997-11-19

    实质审查请求的生效

    实质审查请求的生效

  • 1997-11-05

    公开

    公开

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