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磁阻效应型薄膜磁头及其制造方法

摘要

通过制作图形,在下绝缘膜上形成磁畴控制膜,在磁畴控制膜上形成磁阻效应膜,用剥离法在磁阻效应膜上形成耐蚀剂图形,用离子铣加工法只将磁阻效应膜上与磁道相对应的部分留下,形成磁阻效应元件,在耐蚀剂图形上、以及在由于离子刻蚀而变薄的下部绝缘膜的上表面区域和磁畴控制膜的上表面区域上形成绝缘层,在绝缘膜上形成电极膜,然后将耐蚀剂图形除去。绝缘层连续敷设在下绝缘膜的上表面区域上和磁畴控制膜的上表面区域的一部分上。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2004-06-02

    专利权的终止未缴年费专利权终止

    专利权的终止未缴年费专利权终止

  • 2001-01-17

    授权

    授权

  • 1996-01-24

    公开

    公开

  • 1996-01-03

    实质审查请求的生效

    实质审查请求的生效

  • 1995-12-27

    实质审查请求的生效

    实质审查请求的生效

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