公开/公告号CN1092820A
专利类型发明专利
公开/公告日1994-09-28
原文格式PDF
申请/专利权人 克鲁伯·韦狄亚有限公司;
申请/专利号CN94101146.1
申请日1994-01-27
分类号C23C16/44;C23C16/30;
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;
代理人卢宁
地址 联邦德国埃森
入库时间 2023-12-17 12:31:35
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2000-05-31
专利申请的视为撤回
专利申请的视为撤回
1996-04-03
实质审查请求的生效
实质审查请求的生效
1994-09-28
公开
公开
机译: 超精细图案沉积装置使用该装置的超精细图案沉积方法和通过超精细图案沉积方法的发光显示装置
机译: 超精细图案沉积装置使用该装置的超精细图案沉积方法和通过超精细图案沉积方法的发光显示装置
机译: 超精细图案沉积装置,使用其的超精细图案沉积方法以及由超精细图案沉积方法制造的发光显示装置