首页> 中国专利> 配制液态掺杂剂稀溶液的气体载运方法及其装置

配制液态掺杂剂稀溶液的气体载运方法及其装置

页面导航

摘要
著录项
法律信息
相似文献

摘要

本发明属于掺杂的气相化学淀积领域。以高纯载气流经恒温掺杂剂的冒泡瓶，再流经外延淀积用的基质液瓶，载入基质液中的掺杂剂量可得到精确控制。本法操作简便，避免了配液过程中氯化物的水解、氧化等空气污染及对人体的毒害，解决了那些室温下就沸腾的掺杂剂(如BCl

著录项

公开/公告号CN86104706A

专利类型发明专利
公开/公告日1988-01-27

原文格式PDF
申请/专利权人杨韧;
展开▼

申请/专利号CN86104706
发明设计人杨韧;
展开▼

申请日1986-07-10
分类号H01L21/223;H01L21/205;C30B31/00;
代理机构
代理人
地址北京市650信箱
入库时间 2023-12-17 12:02:14

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
1989-11-29

被视为撤回的申请

被视为撤回的申请
1988-01-27

公开

公开

相似文献

专利
中文文献
外文文献

1. 配制液态掺杂剂稀溶液的气体载运方法及其装置 [P] . 中国专利： CN86104706A . 1988-01-27
2. 含有铜基掺杂剂的氧化铟纳米线、其形成方法和含有该氧化铟纳米线的气体传感器及形成多个含有金属酞菁的纳米线的方法、纳米线装置和含有多个金属酞菁纳米线的气体传感器 [P] . 中国专利： CN107407655A . 2017-11-28
3. Device for suppressing entrainment of cover gas in liquid metal and method for suppressing entrainment of cover gas in liquid metal [P] . 日本专利： JP5069499B2 . 2012-11-07

机译：抑制液态金属中夹带气体夹带的装置和抑制液态金属中夹带气体夹带的方法
4. Method to incorporate, and a device having, oxide enhancement dopants using gas immersion laser doping (GILD) for selectively growing an oxide layer [P] . 美国专利： US5885904A . 1999-03-23

机译：结合使用气体浸入激光掺杂（GILD）选择性生长氧化物层的氧化物增强掺杂剂的方法和具有该方法的装置
5. PRESSURE RISE SUPPRESSION DEVICE FOR STORAGE TANK PRESSURE RISE SUPPRESSION SYSTEM PROVIDED THEREWITH SUPPRESSION METHOD THEREFOR LIQUEFIED GAS CARRYING VESSEL PROVIDED THEREWITH AND LIQUEFIED GAS STORAGE FACILITY PROVIDED THEREWITH [P] . 韩国专利： KR101688705B1 . 2016-12-21

机译：提供了一种用于储存罐的升压抑制装置，其提供了一种抑制方法，其提供了一种液化气载运容器，并提供了一种液化的气体存储设施。