基于氮化镓-氮化铝核壳结构的微米线紫外光探测器件及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于氮化镓‑氮化铝核壳结构的微米线紫外光探测器件及其制备方法，该器件包括镀有二氧化硅的硅片基底；硅片基底上设置有微米线层，微米线层由若干氮化镓‑氮化铝核壳结构微米线形成，微米线层上镀有银电极。本发明所提供的基于氮化镓‑氮化铝核壳结构的微米线紫外光探测器件其光开关比达到1.88×105，响应度达4160A/W以及探测率达3.93×1012Jones。