一种RRAM器件及形成RRAM器件的方法

摘要

本发明公开一种RRAM器件及形成RRAM器件的方法。RRAM器件包括：下金属互联层，被超低介电常数材料围绕；底部电极，设置在所述下金属互联层上方并被PEOX层围绕；金属蓄氧层，覆盖所述底部电极；绝缘层，设置在所述金属蓄氧层上方，其中，所述金属蓄氧层的两侧与所述绝缘层的两侧对齐；阻变层，设置在所述金属蓄氧层的侧边并覆盖所述金属蓄氧层的侧边，所述阻变层具有可变电阻；顶部电极，覆盖所述阻变层；上通孔，设置在所述顶部电极上方。