公开/公告号CN111542909A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-08-14
原文格式PDF
申请/专利权人 艾克塞利斯科技公司;
申请/专利号CN201980007028.9
申请日2019-01-22
分类号H01J37/317(20060101);H01J37/08(20060101);
代理机构11019 北京中原华和知识产权代理有限责任公司;
代理人刘新宇;寿宁
地址 美国马萨诸塞州比佛利市
入库时间 2023-12-17 11:41:09
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-14
公开
公开
机译: 用于离子注入机的氢气发生器
机译: 离子注入机氢气发生器
机译: 离子注入机用氢气发生器