公开/公告号CN111505592A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-08-07
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院国家空间科学中心;
申请/专利号CN202010338290.6
申请日2020-04-26
分类号G01S7/40(20060101);G01S13/88(20060101);G01S13/02(20060101);G01S7/288(20060101);G01S7/41(20060101);
代理机构11472 北京方安思达知识产权代理有限公司;
代理人杨青;王蔚
地址 100190 北京市海淀区中关村南二条1号
入库时间 2023-12-17 11:36:58
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-07
公开
公开
机译: 利用光的干涉的膜厚测定装置以及利用光的干涉的膜厚测定方法
机译: 利用干涉的膜厚测定装置及利用干涉的膜厚测定方法
机译: 利用干涉的膜厚测定方法及利用干涉的膜厚测定装置