一种亚毫米-微米-纳米跨尺度三维图案化超浸润表面电化学加工方法

摘要

本发明涉及一种亚毫米‑微米‑纳米跨尺度三维图案化超浸润表面电化学加工方法，采用电沉积技术在导电基底沉积微纳结构层，获得具有微纳米结构的超亲水表面，经氟硅烷‑乙醇溶液浸泡或化学气象沉积低表面能分子层获得超疏水性表面；采用旋涂或自流平的方式附着胶膜；利用光刻或者纳秒/飞秒激光加工镂空图案的方式对胶膜加工获得掩膜；定域沉积获得均匀润湿性超亲水三维图案化表面或者非均匀润湿性超疏水‑超亲水三维图案化表面；再经氟硅烷‑乙醇溶液浸泡或化学气象沉积低表面能分子层获得均匀润湿性超疏水三维图案化表面。本发明可在平面和曲面基底上实现大面积跨尺度三维图案化超浸润表面的加工，图案形状、尺寸、表面形貌和润湿性的可控性高。