一种基于绝缘体上材料的马赫－曾德型电光调制器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于绝缘体上材料的马赫－曾德型电光调制器，属于集成光学领域。本发明公开的电光调制器结构包括：绝缘体上材料、调制电极和光波导；所述绝缘体上材料包括自下而上依次层叠的衬底层、键合层和薄膜层；调制电极贯穿薄膜层设置在键合层上表面，并与键合层相接触；调制电极为行波电极或集总电极，包括信号电极和地电极；信号电极与地电极之间设有光波导，光波导制作于薄膜层；调制电极与光波导之间的间距＞0。相较于现有技术，本发明提供的一种基于绝缘体上材料的马赫－曾德型电光调制器降低了电容及工艺制作的复杂性，同时增强了电光调制效率，实现了宽带高速调制。