基于弱耦合谐振器组三种工作方式的空气流速测量装置

摘要

本发明公开了一种用于空气流场敏感的基于弱耦合谐振器组三种工作方式的空气流速测量装置的三层结构设计方案。第一层结构是基于ABS材料的中空管状立柱，第二层结构是基于硅材料的微机械传感器，第三层结构是基于二氧化硅材料的基底。所述第一层中空管状立柱布置在第二层微机械传感器的几何中心处，第二层微机械传感器通过锚点与第三层基底键合。本发明的空气流速测量采用基于弱耦合谐振器组的振幅比检测方案，可以将传感器的相对机械灵敏度提升一到三个量级；弱耦和谐振器系组具备三种工作方式，可以在不同的驱动方式下进行外界空气流速信号的检测。