热致动的悬臂梁光学扫描仪

摘要

描述了光学扫描仪、光学投射系统、和扫描光波导和投射图像的方法的实施例。所公开的装置、系统和方法有利地通过实现用于引起光学扫描仪和光学投射系统内的悬臂的振荡的热驱动致动器提供对光学扫描仪和光学投射系统的紧凑性、鲁棒性、简单性和可靠性的改进。光学扫描仪和光学投射系统的稳定性和准确度使用本文所描述的电容感测、反馈和相位校正技术进一步增强。