使用基于SOI的垂直分离波导的具有1xM个输出端口的三维光路

摘要

本申请公开了具有安装在SOI晶片的同一表面上的一个输入端口和多个输出端口的三维光学互连装置。第一硅表面具有带垂直部分的硅波导、第一45度端反射器、第二45度端反射器、以及沿垂直部分依次排列的多个分光器。第二硅表面具有绝缘层和有源光学输入装置(VCSEL激光器)以及安装在绝缘层上的多个接收器端口。第一端反射器与输入光学装置对准，分光器和第二端反射器分别与光检测器依次对准。通过来自每个对准的分光器的反射和来自第二端反射器的穿过硅衬底的反射，形成从输入光学装置到每个光检测器的多个光路。