基于SOI悬浮波导的中红外热光调制器的分析

摘要

设计了一种基于SOI(Silicon-On-Insulator)单模中红外低损耗悬浮脊波导的MMI-MZI型热光调制器.对单模悬浮脊波导和基于悬浮波导的调制器的参数进行了分析,并给出了工艺实现方法.在波长5.4 μm,采用3D-BPM(Beam Propagation Method)方法对热光调制器的模型进行了传输特性的仿真.结果表明在加热电极长度为3 mm时,热光作用区通过很小的温度变化△T=5.3℃时,可以实现消光比为-40 dB.该中红外器件尺寸大,设计和制作容差大,在中红外硅基光子学有着重要的应用.