基于石墨烯-硫系玻璃平面波导型近中红外光调制器

摘要

本发明公开了一种基于石墨烯‐硫系玻璃平面波导型近中红外光调制器，属于电光调制器技术领域，解决基于1.55～3μm近中红外的光学信号的集成光子器件调制和解调的难题。本发明包括基底层、设置在基底层上的脊形光波导层、第一支柱和第二支柱，在脊形光波导层上设置有第一石墨烯层和第二石墨烯层，第一石墨烯层延伸至第一支柱的上表面，第二石墨烯层延伸至第二支柱的上表面，在脊形光波导层与第一石墨烯层和第二石墨烯层、第一石墨烯层与第二石墨烯层、第一石墨烯层与第一支柱、第二石墨烯层与第二支柱之间分别设置有隔离介质层，第一支柱上的第一石墨烯层上设置有第一电极，第二支柱上的第二石墨烯层上设置有第二电极。本发明用于集成光子器件中的信号调制和解调。