基于MAU和DCC的半导体洁净室恒温恒湿控制系统和控制方法

摘要

本发明公开了一种基于MAU和DCC的半导体洁净室恒温恒湿控制系统和控制方法，系统包括MAU室外新风湿度处理单元、DCC室内回风温度处理单元以及中控单元，控制系统通过设置不同的传感器和调节阀进行信号实时采集和控制，MAU空调箱以室内需求的温度、相对湿度计算得出的露点温度为目标值对室外新风参数进行精准控制，进而与经过DCC处理的回风进行混合，从而达到洁净室要求的温湿度指标；系统和方法具有较高的控制精度和节能性、控制逻辑清晰、工程项目的实用性强，能够很好的解决半导体洁净室经常出现的控制精度不够而产生的冷热抵消问题。