用于薄膜制造中源化学品的集成合成、递送和加工的方法和系统

摘要

提供了一种用于成膜前体的合成、前体的消耗和在基板上形成薄膜的集成系统。该集成系统包括：原料源；与原料源连通的前体合成室；与前体合成室连通的薄膜加工室，所述前体以受控的方式从前体合成室供应到薄膜加工室中，以消耗所述前体在基板上形成薄膜，监视系统，用于监视薄膜加工室中的薄膜形成和/或前体合成室中的前体合成，以及控制器，用于控制前体合成、前体消耗和/或薄膜形成的速率。所述前体合成的速率与用于形成薄膜的前体消耗的速率同步。