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被配置为确定沉积布置的状态的设备、用于制造太阳能电池的系统、以及用于确定沉积布置的状态的方法

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提供了一种被配置为确定沉积布置(300)的状态的设备(100)。所述设备(100)包括：检查装置(110)，所述检查装置被配置为检测沉积在基板(10)和基板支撑件(20)中的至少一个上的材料的至少一部分(30)；以及处理器(120)，所述处理器被配置为基于所述材料的由所述检查装置(110)检测到的所述部分(30)来确定沉积布置(300)的状态。

著录项

公开/公告号CN111295767A

专利类型发明专利
公开/公告日2020-06-16

原文格式PDF
申请/专利权人应用材料意大利有限公司;
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申请/专利号CN201780096358.0
发明设计人吉奥莱·达莱内斯;阿伯特·艾米利奥·拉福;亚历山德罗·帕特索蒂;
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申请日2017-10-27
分类号H01L31/18(20060101);
代理机构11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国;赵静
地址意大利圣比亚焦迪卡拉尔塔
入库时间 2023-12-17 10:12:19

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2020-06-16

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