一种柔性钙钛矿太阳能电池卷到卷真空沉积系统及制备方法

摘要

本发明涉及一种柔性钙钛矿太阳能电池卷到卷真空沉积系统及制备方法。一种柔性钙钛矿太阳能电池卷到卷真空沉积系统，包括进样单元、样品预处理单元、透明导电层沉积单元、电子传输层(ETL)沉积单元、钙钛矿活性层沉积单元、空穴传输层(HTL)沉积单元、对电极沉积单元、样品后处理单元、出样单元。本发明具备以下优点：1)本发明的柔性钙钛矿太阳能电池的稳定性更好；2)本发明的柔性钙钛矿太阳能电池卷到卷真空沉积系统的沉积单元连接方式灵活，并且可以互换，可以制备不同柔性基底不同类型钙钛矿太阳能电池；3)本发明的柔性钙钛矿太阳能电池可以实现大面积高通量连续制备，有利于降低柔性钙钛矿太阳能电池的成本，易于实现产业化。