一种高功率长波长垂直腔面发射激光器列阵及制作方法

摘要

本发明公开了一种功率长波长垂直腔面发射激光器列阵以及制作方法，通过采用在外延晶片上设置散热层，在P型DBR反射镜上沉积P面金属散热电极层，提高发光单元以及阵列的散热能力，提高使用可靠性以及最大输出功率，提高了单个发光单元的性能以及阵列性能。