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MEMS加速度计及其提高抗冲击能力的方法

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摘要

本发明提供了一种MEMS加速度计及其提高抗冲击能力的方法，所述MEMS加速度计包括阻尼梳齿，所述阻尼梳齿包括可动梳齿和固定梳齿，在所述可动梳齿和所述固定梳齿上加载电信号以产生适于两者相吸的静电力，所述可动梳齿适于在所述静电力作用下产生形变，以使所述可动梳齿较形变前更靠近所述固定梳齿。

1. MEMS加速度计及其提高抗冲击能力的方法 [P] . 中国专利： CN111381073A . 2020-07-07
2. 压电振动激励自诊断MEMS加速度计表芯及加速度计 [P] . 中国专利： CN208766198U . 2019.04.19
3. METHOD TO DESIGN MEMS ACCELEROMETER CONSIDERING SYSTEM PARAMETER UNCERTAINTY AND MEMS ACCELEROMETER TO DESIGN THE METHOD [P] . 韩国专利： KR20120052025A . 2012-05-23

机译：考虑系统参数不确定性的MEMS加速度计的设计方法及MEMS加速度计的设计方法
4. Method to design MEMS accelerometer considering system parameter uncertainty and MEMS accelerometer to design the method [P] . 韩国专利： KR101192012B1 . 2012-10-16

机译：考虑系统参数不确定性的MEMS加速度计设计方法及MEMS加速度计设计方法
5. ACCELEROMETERS AND ACCELEROMETERS THAT USE MEMS MANUFACTURE METHOD [P] . 韩国专利： KR20030080637A . 2003-10-17

机译：使用MEMS制造方法的加速度计和加速度计