一种基于涡旋光与球面波干涉的微位移测量方法及装置

摘要

本发明公开了一种基于涡旋光与球面波干涉的微位移测量方法及装置，其中一束光照射至空间光调制器产生涡旋光束作为参考光，另一束光经透镜变为球面波后照射至物体上，两束光干涉后干涉条纹呈螺旋状分布；当物体发生微小位移时两束光的光程差改变，螺旋干涉条纹发生旋转，通过旋转角度可以确定物体的微位移量，该方法可通过观测涡旋光与球面波的螺旋条纹旋转角度，可实时简便的观测物体是否有位移的变化，根据图像处理后获得位移具体值。