一种形成电致变色器件膜层微结构的方法及电致变色器件

摘要

本发明公开了一种形成电致变色器件膜层微结构的方法和电致变色器件，涉及电致变色领域，包括：将靶材与外界空气隔离，所述靶材包括第一靶材和第二靶材；将所述第一靶材以惰性气体掺杂氧气与附加气体进行反应溅射，在第一导电层上形成第一电致变色层；在所述第一电致变色层上形成离子传导层；将所述第二靶材以所述惰性气体掺杂氧气与附加气体进行反应溅射，在所述离子传导层上形成第二电致变色层；在所述第二电致变色层上形成第二导电层；所述附加气体包括含氦气体。本发明技术效果在于令电致变色器件之间的膜层取得了一种结晶、非晶相隔的取向性通道结构，其具有稳定性高、离子传输率高的特点。