一种基于MEMS的超宽波段可调光学滤波器

摘要

本发明属于光通信技术领域，具体公开了一种基于MEMS的超宽波段可调光学滤波器，包括：1×N端口光开关组、光纤阵列、阵列光波导、准直透镜、衍射光栅、光束压缩单元和MEMS微镜；光开关组与光纤阵列连接，阵列光波导的一侧与光纤阵列对接耦合，阵列光波导的另一侧置于准直透镜的前焦面上，衍射光栅设置于准直透镜的后焦面上，衍射光栅和MEMS微镜分别设置于光束压缩单元的前、后焦面上；通过1×N端口光开关组和阵列光波导的组合将工作波段分割为N个子波段，实现了调谐范围的扩展。本发明可以解决现有技术中由于MEMS制造工艺局限性导致的调谐范围较窄的问题，具体地，可以通过波段分割技术将滤波器的调谐范围扩展为N倍。