一种基于MEMS的可调谐平顶窄带型光学滤波器

摘要

本发明公开了一种基于MEMS的可调谐平顶窄带型光学滤波器，包括双芯光纤准直器、扩束棱镜、透射式相位光栅、缩束棱镜和MEMS微镜，其中双芯光纤准直器的一根尾纤为单模光纤，另一根尾纤为多模光纤或者少模光纤。DWDM光信号从双芯光纤准直器的单模光纤输入，变成准直光束，经扩束棱镜扩束后，被透射式相位光栅色散分光，再经缩束棱镜压缩后，入射至MEMS微镜，只有垂直入射的信道光信号才能沿原路返回至双芯光纤准直器，从多模光纤或者少模光纤输出。通过改变MEMS微镜的转角，就可以输出不同波长的光信号，实现可调谐滤波功能。由于采用多模光纤或者少模光纤作为输出端，可以实现平顶光谱响应，应用于DWDM系统中的波长下路探测。