平顶响应的热光可调谐Fabry-Perot滤波器

摘要

本文制作了一种平顶响应的热光可调谐滤波器，通过用湿法腐蚀方法将半波长的共振腔分成具有不同光学厚度的两个部分，并且使入射光照射到两个部分的面积基本上相等，来实现平顶响应特性。对该滤波器的输出响应进行检测，所得到的实验结果与理论模拟相符合，相对透射率的极大值与极小值之间的起伏度小于0.01。与实现平顶响应的其他方法相比，本文滤波器器件的制作工艺简单，平顶性能优越，容易与其他有源和无源光子器件集成。本文还给出了通过制作几十微米量级的共振腔来实现平顶窄带响应的热光可调谐滤波器的机理，这种滤波器输出响应的起伏度小于0.02，3dB 带宽小于1 纳米。