机译:用于微光学工作台的热执行器的设计和制造:应用于可调谐Fabry-Perot滤波器
tunable Fabry-Perot filter; micro-optical bench; movable mirrors; thermal actuators; micro-technology; silicon anisotropic etching; MICROACTUATORS;
机译:用于微光学工作台的热执行器的设计和制造:应用于可调谐Fabry-Perot滤波器
机译:液晶法布里-珀罗可调滤波器的研究:设计,制造和偏振无关
机译:适用于波分复用应用的基于InP的可调法布里-珀罗滤波器的光机械设计
机译:用于微光学工作台的热执行器:可调谐法布里-珀罗滤波器的应用
机译:在长波长红外区域中基于MEMS的可调谐法布里 - 珀罗干涉仪滤波器的设计,仿真,制造和表征
机译:通过热压印光刻技术设计和制造基于环的PDMS软探针用于生物系统中的传感和驱动力。
机译:广泛调谐的MEMS环形谐振器,具有电热致动和压电传感,用于过滤应用
机译:可调谐微光学器件微机电结构的设计与制作