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Si基热光可调谐窄带平顶滤波器

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利用Si基键合技术、台阶型F-P腔结构以及Si良好的热光效应,研制了一种新型全Si基的热光调谐窄带平顶滤波器.器件的平顶宽度为2nm,3dB带宽为4·4nm,自由谱宽约为8·5nm,在外加电场作用下,共振峰红移3·3nm.

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来源
《半导体学报》 |2005年第11期|2218-2222|共5页
作者
左玉华; 蔡晓; 毛容伟; 王启明;
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作者单位

中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类滤波技术、滤波器;
关键词
平顶滤波器; 热光调谐; Si基; 窄带;

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