测试机以及用于校准探针卡与待测器件的方法

摘要

本发明公开一种测试机以及用于校准探针卡与待测器件的方法。测试机包括：载物平台，包括承载面，且能沿平行于所述承载面的方向移动和绕垂直于所述承载面的转轴转动；探针卡，设置有多根向靠近所述载物平台一侧伸出的探针；对位组件，包括：至少两个第一激光发射装置，能发射多束第一激光束，所述第一激光束沿垂直于所述承载面的方向依次排列；第二激光发射装置，能发射多束第二激光束，所述第二激光束沿垂直于所述承载面的方向依次排列，且所述第二激光束垂直于所述第一激光束。采用这种测试机进行对位，探针卡与待测器件之间对位较准确，同时还减少了人工放置探针卡的时间，提高了探针卡与待测器件之间对准的准确度，避免了探针卡的损坏。