用于MOCVD的MO源瓶串行供源装置

摘要

本发明揭示了一种用于MOCVD的MO源瓶串行供源装置，与常规MO源罐阀组单元面板相匹配，面板上设置有载气进气端母头及载气出气端母头，装置包括两组相互连通的管路组件，每组管路组件中均包括一个隔膜阀、两个连接母头以及一个连接公头，其中一组管路组件中的连接公头与载气进气端母头相连接，另一组管路组件中的连接公头与载气出气端母头相连接，每组管路组件中的两个连接母头均与一MO源瓶管路连接。本发明可直接安装于现有设备上，无需对原MO源罐阀组单元面板做任何改动，更换和安装过程十分便捷其快速，在最大限度上为设备的安装调试提供了便利、保障了整体的氮化镓外延片制备效率。