抗振型光学参考腔振动敏感度分析及设计参考腔的方法

摘要

本发明公开了抗振型光学参考腔振动敏感度分析及设计参考腔的方法，以第一主加速度方向为一维坐标轴，坐标数值大的支撑物进行三维固定约束，坐标数值小的支撑物施加挤压力，计算第一参考腔腔长形变量；建立与第一参考腔模型完全相同的第二参考腔模型，只改变主加速度载荷值，其他设置均不变，重复以上步骤进行仿真计算，计算第二参考腔腔长形变量；最后，计算拟分析的参考腔的振动敏感度，根据上述计算步骤，计算各个参数化变量下的振动敏感度，选出参考腔最佳的设计参数，本发明能准确的反应参考腔的实际受力情况，充分考虑了各个参数化变量的情况，具备最佳的设计参数。