一种基于刻蚀衍射光栅的高分辨率光谱仪

摘要

本发明提供了一种基于刻蚀衍射光栅的高分辨率光谱仪，包括基片，输入波导、自由传输区、反射光栅和输出波导集成于基片上；输入波导，用于接收待测光信号，并传输到自由传输区；自由传输区，传输从输入波导出射的待测光和被反射光栅反射的待测光；反射光栅，用于反射待测光信号至输出波导入射端，使反射光在输出波导的入射端满足干涉相长的条件；输出波导，所述输出波导为密集阵列波导，密集阵列波导由多个不同宽度的波导循环排列组成，每个波导为一个输出通道，每个输出通道输出不同波长的光。本发明的光谱仪与使用等宽度阵列波导作为输出波导的光谱仪相比，在相同光谱仪器件尺寸的条件下，输出通道个数更多，输出通道间距更小，光谱仪分辨率更高。