工艺配方正确性验证方法及系统、存储介质和电子设备

摘要

本发明公开了一种工艺配方正确性验证方法及系统、存储介质和电子设备，涉及集成电路技术领域。该工艺配方正确性验证方法包括：确定下载至机台的工艺配方作为第一工艺配方；确定第一工艺配方下载至机台后机台上传的工艺配方作为第二工艺配方；将第一工艺配方与第二工艺配方进行比对；如果第一工艺配方与第二工艺配方相同，则确定机台运行的工艺配方正确。本公开可以确定出下载到机台的工艺配方是否正确。