薄壁硬脆复杂形状整流罩的超精密加工方法及加工装置

摘要

本发明属于机械加工技术领域，涉及一种薄壁硬脆复杂形状整流罩的超精密加工方法及加工装置。该加工装置为多轴联动数控机床，包括XYZ运动平台和AB旋转轴、磨头主轴系统、数控系统、冷却系统、抛光液系统、在线检测系统、机床基体、机床装夹系统、专用夹具和磨头。该加工方法：采用专用夹具固定成型整流罩毛坯，依次进行粗磨、精磨和抛光，其次通过在线检测装置对抛光表面进行形面检测，并将检测数据点位传给数控系统，经数控系统计算，对不满足加工精度要求的点位进行自动修抛，直至满足要求；采用上述加工步骤先后完成工件内外表面的超精密加工。本发明可以一次装夹可完成粗、精、抛及检测一体化，效率高，精度好。